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HTR-01 桌式4英寸快速退火炉的详细资料 | ||||||||||||||||||||||
HTR-01 桌式4英寸快速退火炉
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最大样品尺寸 |
4英寸(直径20mm) |
控温范围 |
RT~1200℃ |
升温速率(max) |
50℃/s |
高温段降温速率(max) |
600℃/min |
温度均匀性 |
≦1% |
控温精度 |
±0.1℃ |
气体流量 |
标配1路,可扩展至多路 |
放样管径 |
Ф210mm*320mm |
放样数量 |
4-10个 |
真空度 |
真空度可以达到10-5 |
控制方式 |
支持真空、氧化、还原、惰性气体等工艺气氛,也可设置通过软件控制真空及通气时间 |
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