测量范围 

电阻率：10^-5～10⁵ Ω.cm；    方块电阻：10^-4～10⁶ Ω/□；   

可测晶片尺寸 

2 英寸～15 英寸；（太阳能电池片≤210mm*210mm） 

恒流源 

 电流量程分为 1µA、10µA、100µA、1mA、10mA、100mA 六档。 

采样电压范围 

 量程：000.00～199.99mV；（低阻扩展时，量程：00.000～19.999mV）  

分辨力：10μV；（低阻扩展时，分辨力：1μV）输入阻抗：＞1000MΩ；精度：±0.1%； 

四探针探头基本指标 

 间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻：≥1000MΩ； 机械游移率：≤0.3％；  探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿(总力)； 

模拟电阻测量相对误差

 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.2％ 

整机测量最大相对误差

（用硅标样片:0.003-500Ω.cm 测试）≤±3%（23℃） 

重复性 

≤±0.5% 

最小去边距离 

 3mm

自动测试选点方式 

49 点、81 点、中心 1 点、中心 10 点、中心半径 5 点、中心边缘 5 点、中心半径边缘 9 点、直径扫描。 

测试数据处理 

以Excel格式文件表格记录测试数据，并生成2D、3D的 map 图。用户可对采集的数据在 Excel 中进行进一步的各种数据统计分析。 

屏蔽和吸附测试 

对样品进行屏蔽和真空吸附测试，完全消除光和全自动测试过程中样品移动对样品测试的影响，保证测量的准确性。 

外形尺寸 

550mm×455mm×400mm（深×宽×高） 

标准使用环境 

 温度：23±2℃； 相对湿度：≤65％；无高频干扰；