JKZC-DSH系列双面探针台
产品概要
JKZC-DSH系列双面探针台是我司自主研发的一款双面探针台，最大可完成12英寸晶圆的正反面点针测试。在具备常 规探针台的功能基础上,可用于晶圆和PCB板的测试，对晶圆或者PCB板正面和背面同时扎针以实现各种 光/电性能测试需求的测试，或背面点针，正面收集光线等,运用十分丰富。该定制探针台具有优良的机械系统，稳定的结构，符合人体工程学，以及多项升级功能。此设备在激光器,LD/LED/PD的光强/波长测试等 方面得到了广泛运用。如果您的产品也有双面点针,或者背面点针的需求，此款产品。
JKZC-DSH系列双面探针台技术特点
•双层设计，可正反面同时点针，可同时加载DC和RF信号；
•卡盘大手柄双驱动，省时，省力，省心，可升级360度快速移动；
•加厚级刚性金属框架结构设计,领先的内部防震技术，结构性能稳定。
JKZC-DSH系列双面探针台详细参数
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产品型号
技术参数
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JKZC-DSH6
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JKZC-DSH8
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JKZC-DSH12
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台体
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主体材料
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航空铝
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航空铝
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航空铝
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整机尺寸（mm）
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750L*550W*680H
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800L*580W*680H
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930L*700W*680H
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重量
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85kg
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100kg
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160 kg
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卡盘大小
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6" ,360度转动，可微调
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8",360度转动，可微调
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12",360度转动，可微调
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卡盘XY轴行程
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6"*6",精度 10um
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8"*8",精度 10um
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12"*12",精度 10um
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卡盘Z轴行程
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快速升降5mm,微调升降行程6mm,精度1微米
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卡盘材质
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高透射玻璃或者镂空
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固定方式
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机械式压片固定或者真空吸附，尺寸可调
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其他功能
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带标准接地保护，可升级
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针座平台
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类型
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双面点针平台，单个平台最多■可放置8个JKZC-DR/L-100探针座
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材质
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U型平台，Q235镀鎳，带接地端子，带接地端子
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正面光学系统
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显微镜类型
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体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD成像系统
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倍率范围
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16X~200X/40X~280X/20X~4000X
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显微镜行程
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具备高刚性龙门架结构,XYZ行程分别为2英寸*2英寸*2英寸，精度lum
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CCD成像系统
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2k或者4K相机，帧率60fps,带拍照/录像/测量功能等功能
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背面光学系统
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显微镜类型
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L型单筒显微镜
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倍率范围
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0.75X-5X
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显微镜行程
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40X-280X （可选高倍物镜增加倍率）
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CCD成像系统
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21＜或者4K相机，帧率60fps,带拍照/录像/测量功能等功能
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探针座
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种类
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丝杆型/微分头型/经济型探针座
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X¥Z行程
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12.5 mm-12.5 mm-12.5 mm
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机械精度
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0.5um/0.7um/2um
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夹具
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漏电精度
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同轴夹具10pA/H轴夹具lOOfA
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接口形式
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同轴/三轴/SMA/香蕉头/鳄鱼夹/裸线等接口
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其它
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选件
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屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率/半自动
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电力需求
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220W50HZ
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