产品型号 技术参数

JKZC-DH6

JKZC-DH8

JKZC-DH12

探针台本体

主体材料

航空铝

航空铝

航空铝

整机尺寸（mm）

750L*550W*680H

800L*580W*680H

930L*700W*680H

重・

75kg

95kg

150kg

卡盘大小

6" ,360度转动，可微调

8",360度转动，可微调

12；360度转动，可微调

卡盘XY轴行程

6"6",精度 10um

8"*8"，精度 10um

12"*12"₃m 度 10um

卡盘Z轴行程

快速升降5mm,微调升降行程6mm,精度1微米

卡盘材质

不锈钢镀金，具备更小的接触电阻

卡盘气浮移动范围

360度快速移动，便于快速定位，提高测试效率

卡盘吸附方式

真空吸附，可选择环形吸附或者多孔吸附（适用于薄片）

背电极测试功能

卡盘镀金，电学独立悬空，带2个4mm香蕉头插口，具备背电极功能

其它功能

带标准接地保护，可升级

针座平台

材质

U型平台，Q235镀银，带接地端子

大小

最多可放置6个探针座

最多可放置8个探针座 最多可放置12个探针座

三段式升降平台

探针平台可以快速升降，拥有5mm和300um两档，探针平台可以上下微调， 行程25mm,升降精度gm。（使用探针卡的时候使用）

显TH系统

显微镜类型

体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD成像系统

倍率范围

16X~200X/40X~280X/20X~4000X

显微镜行程

具备高刚性龙门架结构,XYZ行程分别为2英寸*2英寸*2英寸，精度lum

CCD成像系统

2k或者4K相机，帧率60fps,带拍照/录像/测量功能等功能

探针座

种类

丝杆型/微分头型/经济型探针座

X¥Z行程

12.5mm-12.5mm-12.5mm

机械精度

0.5um/0.7um/2um

夹具

漏电精度

同轴夹具10pA/H轴夹具lOOfA

接口形式

同轴/三轴/SMA/香蕉头/鳄鱼夹/裸线等接口

其它

选件

屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率/半自动

电力需求

220W50HZ