TFVT-1000型薄膜变温电阻测试仪

Thin film variable temperature resistance tester

关键词：薄膜电阻，电阻率，电导率

  TFVT-1000型薄膜变温电阻测试仪一款兼具薄膜和块体（可扩展）的测试各种薄膜材料在高温、真空、气氛条件下的电阻和电阻率，可以用来分析样品的电阻率随温度变化曲线、电阻温阻系数、样品相变温度点。而且可广泛用于光电、铁电、热电等各种导电材料的电阻率测量。是目前科研和生产的重要材料测量设备。

一、产品特点

1、采用高精度进口恒流源与电压表，确保测试的稳定性和精确性。

2、采用自适应PID控温。

3、自动检测样品接触特征曲线。

4、可在真空或气氛（惰性气体）环境下测量电阻随温度变化。

5、可实现常温、变温、恒温条件的I-V、R-T、R-t等测量功能

二、主要技术参数：

1、温度范围：-190℃~1000℃（自动控温，可连续采集）

2、电阻测量范围：1μΩ-100MΩ,准确度:±0.1%FS

3、温度测量精度：±0.5℃

4、恒流源：0.05μA~1A，准确度：±1%FS（FS为满量程值）

5、电压：1μV~300V，准确度：±1%FS（FS为满量程值）

6、真空度：≤50Pa

7、样品尺寸：长 x 宽:(2~5)x(2~5)，单位mm,厚度:10nm-3mm

8、测试软件：可实现常温、变温、恒温条件的I-V、R-T、R-t等测量功能。