双光束激光干涉仪 aixDBLI
(Double Beam Laser Interferometer)

双光束激光干涉仪专门用于压电薄膜的蝴蝶曲线和纵向压电系数d33的测试。
这是适合于从小尺寸薄膜到8英寸晶圆表征的双光束激光干涉仪。
半自动的系统用于8"晶圆上的MEMS器件的压电性和电性相关性能的测试。
大量样品测试的重复精度可达2%以上。

测试功能：
机电大信号应变、极化、压电系数、小信号介电常数。
疲劳和电性及机械性能可靠性。

样品测试：
极化曲线和位移曲线。
小信号电容及压电系数。

技术参数：
分辨率： ≤1 pm（X晶向的石英）
测量范围：5pm- +/- 25nm
波长：632.8nm
位移/应力测试：>50Hz，最小1Hz分辨率，100mV到10V（可选到200V）
压电d33系数：
  基电压100mV到10V（1mHz到1Hz），可选到200V
  小信号100mV到10V（1kHz到5kHz）
C-V测试：
  基电压100mV到10V（1mHz到1Hz），可选到200V
小信号100mV到10V（1kHz到5kHz）