关键词：气敏材料，流量控制，

HTGSRM-1000高温气敏电阻测量系统主要用于测量电阻型气体传感器材料的气敏特性，采用两线或四线电阻测量原理设计开发。该系统采用外部控温，使得气敏元件测试摆脱了对器件的依赖，完全保持材料的形貌和结构。测量系统支持动态配气系统及高真空抽气系统，从而有利于表征材料在不同的浓度（ppb甚至ppt量级）及气压（特别是氧压）下的气敏特性。该系统可用于实验，批量生产中各种纳米材料、厚膜/薄膜材料、孔材料、粉体/粒子材料、块体材料、半导体、碳管、有机物等气敏元材料特性进行分析。测量精度和范围依据选配的测量仪表决定。是目前高等院校和科研院所的重要科研配备设备。

一、   产品特点：

1、主机采用一体化实际，一键式操作。

2、多种测量方式，测量夹具，测量更

3、常温，高温，气氛，真空多种环境下测量

4、软件功能强大，实现常温、变温、恒温条件下的I-V、R-t、S-T。自动分析数

据，可以分类保存，样品和测量方案结合在一起，生成系统所需的实验方案，输

出TXT、XLS、BMP等格式文件

5、支持外各种源表，可与美国吉时利表Keithley2400数字源表，Keithley263数字源表等无缝对接。

6、支持个性化定制，不同的测试样品，不同的夹具。二、主要技术参数：

1、温度范围      0—600℃，0—800℃，0—1000℃多种可选

2、测温精度      0.1℃

3、升温速度      1—20℃/min

4、控温模式      程序控制，提供常温、变温、恒温、升温、降温等多种组合方式

5、测试方法：两线法或四线法

7、测试频率      200Hz—50MHz（根据各种源表）

8、电材质      铂铱合金

9、电阻测量范围：0-100MΩ

10、气敏电阻：1Ω-200MΩ

11、保护电    带保护电，消除寄生电容、边界电容对测试的影响

12、电干扰屏蔽   电引线带同轴屏蔽，样品平台带屏蔽罩

13、夹具升降控制   带程序和手动控制，可更换夹具的电动升降装置

14、热电偶 热电偶探头与样品平台为同一热沉，测控温度与样品温度保持一致

15、样品尺寸    直径小于40mm，厚度小于8mm

16、流量量程：配置3个流量计（0-500sccm，0-2000sccm，控制范围：2%-）

17、软件功能：自动分析数据，可以分类保存，样品和测量方案结合在一起，生

成系统所需的实验方案，输出TXT、XLS、BMP等格式文件

18、测量方案    提供灵活、丰富的测试设置功能，包括频率谱、阻抗谱、介电谱

及其组合

19、接口方式：包括Keysight\WayneKerr\Tonghui等多种LCR接口，

20、外形尺寸    L360mm*W370mm*H510mm

21、净   重          22KG