标准探针台/JKZC-DM系列基础型探针台

产品型号

技术参数

JKZC-DM4

JKZC-DM6

JKZC-DM8

探针台台体

主体材料

航空铝

航空铝

航空铝

整机尺寸（mm）

500L*380W*520H

550L*420W*520H

600L*480W*520H

重量

30kg

35kg

50kg

自适应减震系统

自适应减震底座设计，可有效过滤环境中的震动源干扰

卡盘大小

4英寸,360度转动，可微调

6英寸,360度转动，可微调

8英寸,360度转动，可微调

卡盘XY轴行程

4英寸*4英寸，精度10um

6英寸*6英寸，精度10um

6英寸*6英寸，精度10um

卡盘Z轴行程

快速升降5mm,微调升降行程6mm,精度丄微米（选件）

卡盘材质

不锈钢镀金，具备小的接触电阻

卡盘吸附方式

真空吸附，可选择环形吸附或者多孔吸附（适用于薄片）

背电极测试功能

卡盘镀金，电学悬空，带2个4mm香蕉头插口，具备背电极功能

其它功能

带标准接地保护，可升级

针座平台

材质

U型平台，Q235镀療，带接地端子

大小

多可放置4个探针座

多可放置6个探针座

多可放置8个探针座

显7F系统

显微镜类型

体式显微镜/视频显微镜+CCD成像系统

倍率范围

16X~200X/40X~280X

调焦范围

50.8mm

显微镜移动

显微镜可绕立柱360度旋转，带2英寸显微镜调焦机构，带显示器支架

CCD成像系统

2k或者4K相机，帧率60fps,带拍照/录像/测量功能等功能

探针座

种类

丝杆型/微分头型/经济型探针座

X-Y-Z行程

12.5mm-12.5mm-12.5mm

机械精度

0.5um/0.7um/2um

夹具

漏电精度

同轴夹具10pA/三轴夹具lOOfA

接口形式

同轴/三轴/SMA/香蕉头/鳄鱼夹/裸线等接口

其它

选件

屏蔽箱/防震桌/射频系统/同轴/三轴加热卡盘/显微镜万向支架等

电力需求

220V/50HZ